Visão geral da plataforma de isolamento ativo

STACIS ® O III é um sistema de isolamento vibratório ativo flexível. O sistema de plataforma de isolamento ativo STACIS utiliza sensores de vibração inerciais avançados, algoritmos de controle avançados e atuadores piezoelétricos para filtrar o movimento do solo, medindo continuamente a atividade do solo e, em seguida, expandindo e contraindo o atuador piezoelétrico para eliminar a vibração em tempo real.

Inicialmente concebido para isolar micrografia de precisão, medição e equipamentos de teste em fábricas avançadas de semicondutores, o STACIS se tornou a solução padrão da indústria para instrumentos sensíveis em ambientes ruidosos, incluindo, mas não limitado a, fábricas de semicondutores, laboratórios de análise de falhas, pesquisas de nanotecnologia, instalações de nanofabricação e centros de pesquisa de materiais.

O sistema de plataforma de isolamento ativo STACIS III inclui um novo e melhorado controlador digital DC-2020. Este novo sistema de controle** apresenta um novo processador dual-core, Ethernet e porta serial USB no painel frontal e traseiro, proporcionando aos usuários uma interface gráfica de usuário (GUI) moderna e fácil de usar. Com centenas de casos de instalação bem sucedidos em todo o mundo, o STACIS é o sistema de isolamento vibratório ideal para instrumentos sensíveis à vibração**.

Vantagens do sistema de plataforma de isolamento vibratório STACIS III

O STACIS é centenas de vezes mais duro do que o isolador de ar e não tem as limitações de nenhum sistema de isolamento de ar. Não tem suspensão "macia" e, ao contrário do sistema de ar ativo, o STACIS pode ser colocado sob a ferramenta com um sistema de isolamento de ar ativo interno, permitindo que ambos os sistemas funcionem no estado **.

O design em série único e a tecnologia piezoelétrica patenteada de alta potência permitem uma largura de banda ativa de 0,6 Hz***150 Hz e um desempenho de isolamento ativo de 90% a partir de 2 Hz**.

Características do sistema de plataforma de isolamento vibracional STACIS III

▪ ** Novo controlador digital DC-2020 melhorado com interface gráfica fácil de usar

▪ Isolamento começa em 0,6 Hz e atinge uma taxa de isolamento de 40%***70% em 1 Hz

▪ Isolamento vertical e horizontal superior a 90% quando a frequência é de 2 Hz e superior

▪ Reduza os requisitos de infraestrutura e os custos de construção para operar corretamente mesmo com grandes equipamentos de vibração externa

▪ Faixa de isolamento eficaz, de 0,6 Hz a 150 Hz

▪ Obter amplo reconhecimento e aprovação de muitos usuários

▪ Design de instalação rígida de 6 graus de liberdade sem suspensão de ar

▪ Sistema de controle robusto sem recalibração regular

▪ Solução de design point-of-use para compatibilidade perfeita com os sistemas de isolamento vibratório existentes do cliente

▪ À medida que o ambiente externo muda, o sistema se ajusta automaticamente a diferentes situações de vibração externa

▪ STACIS da TMC ® Tecnologia de desvibração ativa usando atuadores piezoelétricos

▪ Controlador digital e interface gráfica de usuário (GUI) baseada em PC

▪ Aumentar a produção, qualidade e taxa de produção final dos produtos dos clientes.

▪ Conforme ao padrão RoHS

▪ ** Larga largura de banda de isolamento ativo, efeito de isolamento de baixa frequência **

▪ Eliminação de vibração ativa de Yaherz ** Isolamento principalmente na faixa de frequências de 0,6-6Hz

▪ Projeto empilhável

▪ Estrutura de montagem rígida ativa em vez de suspensão suave, sem deriva de baixa frequência, componentes ativos ligados a molas rígidas

▪ A mola passiva filtra a ressonância de carga do sensor STACIS e requer pouca sintonização, sem sintonização

▪ Isoladores internos do instrumento compatíveis devido à incompatibilidade da impedância

▪ Carga até 2000kg

▪ Sistema de isolamento activo no mercado**

Desempenho da plataforma de isolamento vibracional ativo

Teste de carga útil de 4.500 libras (2.045 kg) com vibração analógica VC-C (500 μm/s, 12,5 μm/s RMS)

Especificações da plataforma de isolamento ativo

Especificações de desempenho

Usuários e aplicações STACIS

Microeletrônica, Semicondutores

▪ Detecção de chips

▪ Tecnologia de micrografia

▪ Calibração da máscara

Pesquisa científica, nanotecnologia

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3 - Estação laser

▪ Ciências da Vida, Desenvolvimento de Medicamentos

4 Aplicações industriais

▪ usinagem de precisão

Por que escolher um sistema de isolamento vibratório ativo?

▪ A partir de <1Hz, eliminando fortemente a vibração do solo, a plataforma pneumática não pode desempenhar um isolamento eficaz nesta baixa frequência

▪ Melhore qualidade e produtividade

▪ Capacidade de imagem com características mais pequenas

▪ Pesquisa de vanguarda

▪ Mais estável do que a plataforma pneumática

▪ Solução** que atende aos parâmetros de instalação em locais padrão da SEM

▪ Reduza os custos de engenharia de novos laboratórios e equipamentos de pesquisa

Por que escolher a STACIS

▪ Está no coração dos pesquisadores, fornecendo o ambiente mais seguro possível ***.

▪ * Sistema de isolamento de baixa frequência no mercado.

▪ Atualmente, todos os fabricantes de SEM publicaram os requisitos de parâmetros de instalação, e os parâmetros de vibração necessários requerem um sistema de isolamento vibratório ativo para ser satisfeito.

▪ O STACIS** foi inventado na década de 1990 e desenvolvido, desenvolvido e instalado pela TMC por milhares de sistemas de isolamento ativo, uma solução confiável para o controle de isolamento ativo.

STACIS é centenas de vezes mais rígido do que o isolador pneumático

O tempo de estabilidade, em resposta às perturbações, é drasticamente reduzido devido ao design único em série, ideal para uso em máquinas, cargas dinâmicas, lasers ou superfícies rígidas independentes que exigem instalação de fontes de luz.

As seguintes vantagens são no setor **

▪ Largura de banda de isolamento ativo STACIS de 0,6 Hz a 150 Hz

▪ 6 graus de liberdade para a eliminação de vibrações ativas, com intervalos de vibração de 8-10dB em 1Hz

▪ De 2 a 3Hz, isolamento de vibração de até 90% (20dB)

Pesquisa ambiental profissional

Investigação ambiental antes e depois da instalação, incluindo vibrações, campos magnéticos e ondas sonoras

Certificação do sistema ambiental após a instalação

▪ Serviços de investigação ambiental perfeitos

▪ Elaboração de relatórios ambientais profissionais

▪ Detecção e soluções de vibrações, campos magnéticos e ondas sonoras

▪ A TMC recomenda soluções práticas aos usuários com base em sua ampla experiência

▪ Mais de 40 anos de experiência no setor **

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